|
| |
|
|
Studium lokálně modifikovaných povrchů pro selektivní růst kobaltu
Krajňák, Tomáš ; Bábor, Petr (oponent) ; Čechal, Jan (vedoucí práce)
V této práci se pomocí metody rentgenové fotoelektronové spektroskopie určovala chemická analýza křemíkových substrátů s orientací (1 1 1). Byly využity přístroje XPS Kratos Supra a elektronový mikroskop Tescan LYRA3 s iontovým svazkem FIB ve sdílených laboratořích CEITEC (CF Nano). Povrch použitých substrátů byl lokálně modifikován fokusovaným iontovým svazkem gallia. Byly odprašovány čtvercové plochy o nominálních hloubkách od 1 nm do 10 nm. Dále byl studován vliv žíhání na takto modifikované oblasti. Výstupem této práce je určení závislostí intenzit Si 2p a Ga 2p3/2. Byla určena závislost intenzit těchto píků na nominální hloubce odprášených ploch a vliv teploty na tyto plochy. XPS analýza povedená po modifikaci substrátu fokusovaným iontovým svazkem odhalila přítomnost gallia a další složku píku Si 2p. Tato komponenta byla přiřazena amorfnímu křemíku. Veškeré gallium bylo ze vzorku odstraněno při žíhání vzorku na teplotě 700 °C po dobu 120 minut.
|
|
|
Testování a optimalizace iontového zdroje
Glajc, Petr ; Král,, Jaroslav (oponent) ; Kolíbal, Miroslav (vedoucí práce)
V diplomové práci je detailně popsán proces testování iontového zdroje se sedlovým polem doplněný nejdůležitějšími výsledky experimentů. Mezi ně lze zařadit měření příčného profilu proudu iontového svazku a energiového spektra iontů pomocí Faradayovy sondy. Pomocí výsledků těchto měření je ukázáno, že optimalizovaný zdroj pracuje správně a dle očekávání. V závěru práce je popsán vývoj iontově-optického a konstrukčního návrhu fokusační optiky a dále je zobrazena vyrobená sestava optiky nainstalovaná na iontovém zdroji.
|
|
|
Evaluation of Different Dielectrics For Mid-Infrared Waveguides
Konečný, Aleš ; Arregi Uribeetxebarria, Jon Ander (oponent) ; Detz, Hermann (vedoucí práce)
The utilization of plasmon polariton waveguides for mid-infrared light has proven its suitability for sensor applications. The waveguide can be surrounded by a gaseous or liquid phase medium, which contains an analyte substance of which the concentration can be measured. The electromagnetic field propagates along the waveguide, which has to satisfy low losses and sufficient interaction conditions. These are fulfilled using a thin dielectric layer applied on a metal surface. This thesis is focused on Si-based dielectrics. Within this work, multilayer waveguides were fabricated by high vacuum magnetron sputtering, plasma-enhanced vapor deposition and photolithography. The deposition was carried out on commonly used Si substrates and is ready to be transfered to InP-based chips. Evaluation of dielectric layers and fabrication methods are based on ellipsometric measurements of refractive index and extinction coefficient in the infrared spectrum.
|
|
|
Povlakování nástrojů PVD technologií HiPIMS
Havlíková, Tereza ; Ohnišťová, Petra (oponent) ; Píška, Miroslav (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se věnuje studiu PVD metod povlakování nástrojů se zaměřením na technologii HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering). V rámci rešerše jsou nejprve představeny PVD metody povlakování, následně jsou popsány základní fyzikální procesy a charakteristiky magnetronového naprašování a nakonec je analyzována moderní povlakovací technologie HiPIMS. Cílem experimentální části této práce je ověřit vhodnost (Al,Ti)N povlaku naneseného pomocí technologie HiPIMS na průvlak pro tažení drátu za studena. V rámci zkoušek jsou vyhodnoceny a porovnány výsledky povlakovaného a nepovlakovaného nástroje, se zaměřením na opotřebení nástroje, dále pak výslednou kvalitu a tepelné ovlivnění taženého drátu.
|
|
|
Výroba polovodičových součástek na křemíku
Ježek, Vladimír ; Mikulík, Petr (oponent) ; Špinka, Jiří (vedoucí práce)
Předkládaná práce se zabývá problematikou základních technologií a procesů pro výrobu polovodičových součástek na křemíkovém substrátu. Uvádí procesy vytváření vrstvy oxidu křemičitého pomocí oxidace, vytváření struktur pomocí fotolitografie, dotování příměsí do oblastí vymezených fotolitografií pomocí difúze až po vytváření kontaktů a vodivých cest naprašováním. Dále se zabývá technologickým postupem výroby konkrétních součástek na křemíku, popisem těchto součástek i měřením, výpočtem růstu oxidu křemičitého, výpočtem difúze. Výsledkem jsou naměřené charakteristiky charakteristik součástek plus jejich vyhodnocení.
|
|
|
Tenkovrstvé systémy
Rada, Vojtěch ; Sedlaříková, Marie (oponent) ; Zatloukal, Miroslav (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce je zaměřena na problematiku technologie vytváření tenkých vrstev. V úvodu se zabývá obecnou teorií této problematiky, rozebírá různé metody a způsoby nanášení tenkých vrstev, kdy je kladen větší důraz na metodu magnetronového naprašování, která je využita v experimentální části práce, a popisuje procedury, které jsou prováděny před a po samotném nanesením tenké vrstvy. V praktické části práce je popsáno magnetronové naprašovací zařízení NP-12 a jeho ovládání. Následně je proveden výběr a úprava vhodných substrátů, depozice tenkovrstvého systému pomocí magnetronového naprašování a analýza vlastností deponovaných tenkovrstvých vzorků.
|
|
|
Návrh iontového zdroje pro odprašování
Glajc, Petr ; Voborný, Stanislav (oponent) ; Kolíbal, Miroslav (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje. Jejím cílem je navrhnout iontový zdroj se sedlovým polem pro odprašování. Inovací ve vypracovaném návrhu je kombinace klasického válcově symetrického iontového zdroje a žhavené katody vyrobené z wolframu. V první části práce je uvedena rešerše problematiky iontových zdrojů. Druhá část se zabývá elektronově-optickým návrhem zdroje a simulací elektrostatického pole včetně trajektorií elektronů a iontů. Jsou také odhadnuty některé parametry iontového zdroje. V třetí části je detailně popsán konstrukční návrh založený na předchozích simulacích. Součástí práce je kompletní výkresová dokumentace.
|
|
|
Tenkovrstvé systémy
Kuchařík, Jan ; Máca, Josef (oponent) ; Zatloukal, Miroslav (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá tvorbou tenkých vrstev na různé druhy substrátů. V rámci teoretické části je přehled tvorby tenkých vrstev pomocí několika technik. V práci se nachází přehled používaných procesů čištění substrátů před depozicí tenké vrstvy a nástroje pro vyhodnocování jejich vlastností. V jejím závěru je rozebrána metoda maskování. V experimentální části proběhlo seznamování s naprašovacím zařízením NP – 12 a výroba vzorků. Byla vyhodnocena adheze vyrobených vzorků. Následovala elektrodepozice vzorků s titanovým povlakem. Závěrem proběhlo maskování křemíkového substrátu.
|
|
|
Příprava vysoce definovaných nanoporézních struktur s využitím v membránové biosensorice
Fabianová, Kateřina ; Édes, Zoltán (oponent) ; Sadílek, Jakub (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou plasmonického biosensoru založeného na vysoce definovaných porézních strukturách vytvořených v nitridu křemíku obsahujících kovové nanomenhiry. Tyto porézní struktury byly připraveny pomocí metody reaktivního iontového leptání nitridové vrstvy skrze dočasnou masku připravenou elektronovou litografií následované depozicí kovové vrstvy tvořící finální nanomenhiry pomocí napařování a magnetronového naprašování. Práce shrnuje finálně dosažené výsledky a předkládá úspěšný návrh postupu výroby sensoru bez kovové kontaminace nosného povrchu.
|
host ::
RSS.